產品概述
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,綜合 |
HEM6000是一款可實現跨尺度大規模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉系統、高壓樣品臺減速、動態光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術，實現了超快的數據采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。
高速掃描電子顯微鏡面向應用場景的自動化操作流程設計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規場發射掃描電鏡的5倍以上。
圖像采集速度
10 ns/pixel，2*100 M pixel/s
加速電壓
100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式)
分辨率
1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE
視場大小
最大視場1*1 mm2，高分辨微畸變視場32*32 um2
樣品臺精度
重復定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um
高速掃描驅動器
駐點時間10 ns/pixel，
最快采集速度2*100 M pixel/s
電子過濾系統
SE/BSE信號自由切換，
MIX成像信號比例可調
全靜電高速偏轉系統
可實現高分辨大場模式，
4 nm像素點最大視場達32*32 um2
樣品臺減速技術
降低入射電子落點電壓，
同時提高回收電子的收集效率
浸沒式電磁復合物鏡
物鏡磁場浸沒樣品
實現了低像差高分辨率
產品優勢
高速自動化
全自動上下樣流程和采圖作業，綜合成像速度優于常規場發射掃描電鏡的 5 倍
大場低畸變
跟隨掃描場動態變化的光軸，實現了更低的場邊緣畸變
低壓高分辨
樣品臺減速技術，實現低落點電壓，同時保證高分辨率
應用領域
半導體工業
生命科學
材料科學
地質科學
應用案例
芯片（金屬層）/ 116x / BSE / 120 ns
芯片（器件層） / 2000x / BSE / 40 ns
芯片（金屬層）/ 1200x / BSE / 120 ns
芯片（器件層） / 1200x / BSE / 120 ns
生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 116x / BSE / 120 ns
| 指標 | HEM6000 | 常規場發射掃描電鏡 |
| 像素尺寸(單張) | 8192*8192 | |
| 像素點時間 | 120 ns（點/行/幀平均數：6/2/1） | 800 ns |
| 像素大小 | 16 nm | |
| 拍攝總面積 | 2 mm2 | |
拍攝總時間 | 25分32秒 | >140分 |
產品參數
| 關鍵參數 | 分辨率 | 1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE； | |
| 2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE； | |||
| 加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) | ||
| 6 kV~30 kV(非減速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發射電子槍 | ||
| 物鏡類型 | 浸沒式電磁復合物鏡 | ||
| 樣品裝載系統 | 真空系統 | 全自動控制，無油真空系統 | |
| 樣品監控 | 樣品倉監控水平攝像頭 ； 換樣倉監控垂直攝像頭 | ||
| 樣品最大尺寸 | 直徑4英寸 | ||
| 樣品臺 | 類型 | 電機驅動3軸樣品臺（*可選配壓電驅動樣品臺） | |
| 行程 | X、Y軸：110mm； Z軸：28mm； | ||
| 重復定位精度 | X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm； | ||
| 換樣方式 | 全自動控制 | ||
| 換樣時間 | ＜15 min | ||
| 換樣倉清洗 | 全自動控制等離子清洗系統 | ||
| 圖像采集與處理 | 駐點時間 | 10 ns/pixel | |
| 圖像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
| 圖像大小 | 8K*8K | ||
| 探測器和擴展 | 標配 | 鏡筒內混合電子探測器 | |
| 選配 | 低角度背散射電子探測器 | ||
| 鏡筒內高角度背散射電子探測器 | |||
| 壓電驅動樣品臺 | |||
| 高分辨大場模式 | |||
| 樣品倉等離子清洗系統 | |||
| 6英寸樣品裝載系統 | |||
| 主動減震臺 | |||
| AI降噪；大圖拼接；三維重構 | |||
| 軟件 | 語言 | 中文 | |
| 操作系統 | Windows | ||
| 導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | ||
| 自動功能 | 自動樣品識別、自動選區拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 | ||
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